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202611-3
小压差，大影响：精准监测是洁净室环境控制的关键

洁净室中的压差通常较小。在许多情况下，洁净室的压差可能仅有5、10或15Pa。但压差是洁净室污染控制策略的重要部分。这些微小的压差有助于空气朝正确的方向流动，有...

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